2024/07/20 星期六

计量培训

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提升光刻机制造质量面临的挑战

信息来源:国家市场监督管理总局计量司

       光刻机是是制造芯片的核心装备。我国在提升光刻机制造质量上面临着哪些挑战?中国工程院院士、哈尔滨工业大学教授谭久彬带你走近《提升光刻机制造质量面临的挑战》。